Fabrication of mems devices – a scanning micro mirror case study

Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo

Autor

Zarzycki, Artur

Gambin, Wiktor L.

Bargiel, Sylwester

Gorecki, Christophe

Metadatos

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URI

http://test.repositoriodigital.com:8080/handle/123456789/11696

Colecciones

tecnologia [520]