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Titanium and zirconium thin films corrosion resistance produced by DC Magnetron Sputtering

Resistencia a la corrosión de recubrimientos a base de titanio y circonio producidos por magnetrón Sputtering DC

dc.creatorGómez Hernández, Diana Alexandra
dc.creatorJurado Ortiz, Paola Alejandra
dc.creatorde la Roche Yepes, Jhonattan
dc.creatorRuden Muñoz, Alexander
dc.creatorGonzález, Juan Manuel
dc.creatorSequeda Osorio, Federico
dc.date2010-12-28
dc.date.accessioned2022-04-27T16:31:54Z
dc.date.available2022-04-27T16:31:54Z
dc.identifierhttp://revistas.sena.edu.co/index.php/inf_tec/article/view/6
dc.identifier10.23850/22565035.6
dc.identifier.urihttp://test.repositoriodigital.com:8080/handle/123456789/30471
dc.descriptionTitanium nitride (TiN and TiN/Ti) and titanium zirconium nitride (TiZrN)thin films were deposited on AISI 304 and 316L stainless steels, using DC Magne-tron Sputtering, to evaluate the superficial, mechanical and corrosion resistanceproperties. X Ray Diffraction (XRD) structural analysis performed showed thatin all studied systems had f.c.c crystalline structure, with (111) bragg planepreferential orientation. The TiZrN coating shows compressive stress by theinclusion of Zr atoms in the structure of TiN and peak widening is observeddue to the presence on the film of TiN. Superficial characteristics obtained byprofilometry (roughness (Ra) and thickness) shows Ra values below 100 nm,typical of thin films obtained by this technique. The thickness obtained rangesfrom 364,50 to 580,25 nm.Using nanoindentation, hardness values TiN, TiN/Ti and TiZrN of 16,173,18,524 and 17,307 Gpa were obtained for thin films respectively. Corrosion resistance evaluation (Tafel Polarization), shows a decreasein corrosion speed of steel when the surface is protectedby a coating, fact which was determined by the reductionof the corrosion rate.en-US
dc.descriptionSe depositaron recubrimientos de nitruro de titanio (TiN y TiN/Ti) y nitrurode titanio circonio (TiZrN) sobre aceros AISI 304 y 316L por medio de la técnicamagnetrón Sputtering DC para evaluar sus propiedades superficiales y mecánicas, así como la resistencia a la corrosión. El análisis estructural realizado por mediode difracción de rayos X (XRD) mostró que todos los materiales estudiados cris-talizaron en una estructura f.c.c, con orientación preferencial en plano de Bragg (111); el recubrimiento de TiZrN, muestra estrés a la compresión por la inclusiónde átomos de Zr en la estructura del TiN y se observa ensanchamiento en lospicos de difracción debido a la presencia de TiN en la película. Las características superficiales medidas por perfilometría (rugosidad Ra y espesor) muestranvalores de Ra inferiores a 100 nm, típicos de capas delgadas sintetizadas por estemétodo. Los espesores obtenidos varían desde 364,50 nm hasta 580,25 nm. Usandonanoindentación se obtuvieron valores de dureza de capa de TiN, TiN/Ti y TiZrN de 16, 173, 18, 524 y 17, 307 Gpa respectivamente; la evaluación de la resistencia ala corrosión (polarización tafel) muestra que la velocidad de corrosión del acerodisminuye cuando la superficie es protegida con un recubrimiento, hecho que sedeterminó por la reducción de la tasa de corrosión.es-ES
dc.formatapplication/pdf
dc.formattext/xml
dc.languagespa
dc.publisherServicio Nacional de Aprendizaje SENAes-ES
dc.relationhttp://revistas.sena.edu.co/index.php/inf_tec/article/view/6/6
dc.relationhttp://revistas.sena.edu.co/index.php/inf_tec/article/view/6/3216
dc.rightsDerechos de autor 2019 Servicio Nacional de Aprendizaje (SENA)es-ES
dc.sourceInformador Tecnico; Vol. 74 (2010)en-US
dc.sourceInformador Técnico; Vol. 74 (2010)es-ES
dc.source2256-5035
dc.source10.23850/22565035.v74.n0.2010
dc.subjectDC Magnetron Sputteringes-ES
dc.subjectTi-Zr-Nes-ES
dc.subjectTi/ TiNes-ES
dc.subjectCorrosion.es-ES
dc.titleTitanium and zirconium thin films corrosion resistance produced by DC Magnetron Sputteringen-US
dc.titleResistencia a la corrosión de recubrimientos a base de titanio y circonio producidos por magnetrón Sputtering DCes-ES
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/article
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion


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