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Increase of the mechanical properties of titanium nitride by the application of a cathodic spray deposited multilayer system

Incremento de las propiedades mecánicas del Nitruro de Titanio mediante aplicación de un sistema multicapa de Tin/TiAlN depositado por pulverización catódica

dc.creatorBejarano Gaitan, Gilberto
dc.creatorCaicedo A., Julio César
dc.creatorCaicedo R., José Manuel
dc.creatorBalogh S. Gottschalk, Adam Georg
dc.date2007-12-14
dc.date.accessioned2022-04-27T16:32:30Z
dc.date.available2022-04-27T16:32:30Z
dc.identifierhttp://revistas.sena.edu.co/index.php/inf_tec/article/view/774
dc.identifier10.23850/22565035.774
dc.identifier.urihttp://test.repositoriodigital.com:8080/handle/123456789/30609
dc.descriptionTiN/TiAIN multilayer were deposited by means of d.c. reactive Magnetron Sputtering technique using titanium and aluminum targets with 10 cm in diameter and 99.99% purity in an argon/nitrogen atmosphere, applied at a substrate temperature of 300°C, and a pressure of 7x103 mbar. Silicon with orientation (100) and steel AISI M2 were utilized as substrate. The present study aimed at two main goals: to analyze the influence of aluminum content on the hardness of TiAIN coatings and the behavior of TiN/TiAIN coating's mechanical properties as a function of multilayer number. For this purpose, the chemical composition of the coatings were determined by EDX spectroscopy; the crystalline structure through X-ray diffractometry (XRD) and its morphology using scanning electron microscopy (SEM). Hardness and adherence were determined by means of micro indentation and scratch techniques respectively.en-US
dc.descriptionMulticapas de TiN/TiAIN fueron depositadas  mediante la técnica d.c. magnetrón sputtering reactivo, a partir de blancos de titanio y aluminio de 10 cm de diámetro y de 99.9% de pureza en una atmósfera de argón-nitrógeno, a una temperatura del sustrato de 300°C y presión de 7x10-3 mbar.  Como sustratos se utilizaron probetas de silicio con orientación  (100) y de acero AISI M2. Inicialmente, se investigó la influencia del contenido de aluminio sobre la dureza de los recubrimientos de TiAlN y posteriormente se analizó el comportamiento de las propiedades mecánicas de los recubrimientos de TiN/TiAlN en función del número de multicapas. Para tales efectos se determinó la composición química de los recubrimientos  mediante es pectroscopia EDX; la estructura cristalina por difracción de rayos X (XRD) y la morfología de crecimiento a través de microscopia electrónica de barrido (SEM). La dureza y la adherencia fueron determinadas por la técnica de la  microindentación y de rayado respectivamente.es-ES
dc.formatapplication/pdf
dc.languagespa
dc.publisherServicio Nacional de Aprendizaje SENAes-ES
dc.relationhttp://revistas.sena.edu.co/index.php/inf_tec/article/view/774/858
dc.rightsDerechos de autor 2019 Servicio Nacional de Aprendizaje (SENA)es-ES
dc.sourceInformador Tecnico; Vol. 71 (2007); 6-11en-US
dc.sourceInformador Técnico; Vol. 71 (2007); 6-11es-ES
dc.source2256-5035
dc.source10.23850/22565035.v71.n0.2007
dc.subjectMagnetron sputteringen-US
dc.subjectmultilayer systemen-US
dc.subjecthard coatingsen-US
dc.subjectpulverización catódicaes-ES
dc.subjectsistema multicapases-ES
dc.subjectrecubrimientos duroses-ES
dc.titleIncrease of the mechanical properties of titanium nitride by the application of a cathodic spray deposited multilayer systemen-US
dc.titleIncremento de las propiedades mecánicas del Nitruro de Titanio mediante aplicación de un sistema multicapa de Tin/TiAlN depositado por pulverización catódicaes-ES
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/article
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion


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